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RTD WAFER
Item
Parameters
Values
RTD WAFER
传感器点数
1-200通道(可定制)
衬底材料
2-12“硅片,蓝宝石,掩模版等
测温精度:
±0.05℃(可达±0.01℃,可定制)
测温范围:
-80℃到250℃
RTD温度采集器/分析仪
通道数(传感器数量)
1-200点(可定制)
采样率
标准2Hz(最高5Hz可定制)
传感器种类
PT1000
RTD WAFER温度分析系统
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