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无线晶圆聚焦环间隙测量仪

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无线晶圆聚焦环间隙测量仪
GND 型号 产品特性 产品名称 量程 精度
WFI FOCUS RING和wafer间隙测量 无线晶圆聚焦环间隙测量仪 0.1-2.4 mm  ±0.01mm
Wireless Focus Ring Gap Inspector
产品应用： 薄膜沉积, Etch, Track机台。
产品形态： 晶圆形状,12" or 8"，可定制尺寸
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