上海集迦电子科技有限公司

产品和解决方案

无线晶圆多功能传感器 Wireless Multi Sensor

GND 型号	产品描述	产品名称	量程	精度
WMS	振动+水平+温湿度多功能传感器	无线晶圆多功能传感器 Wireless Multi Sensor	水平：30°	±0.01°
			振动：±4g	±0.001g
			温度：10~60℃	±0.25℃
			湿度：5%~85%RH	±2%RH @25℃
产品应用：薄膜沉积/刻蚀/TRACK机台;EFEM传输单元
产品形态：晶圆形状，或定制尺寸
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