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无线晶圆水平振动传感器

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无线晶圆水平振动传感器

GND 型号 产品描述 产品名称 量程 精度
WLVS 振动+水平二合一传感器 无线晶圆水平振动传感器 水平：30°  ±0.01°
Wireless Leveling & Vibration Wafer Sensor 振动：±4g  ±0.001g 
产品应用： 薄膜沉积/刻蚀;EFEM传输单元
产品形态： 晶圆形状，或定制尺寸
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