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无线晶圆间隙传感器

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无线晶圆间隙传感器
GND 型号 产品描述 产品名称 量程 精度
WGS 间隙测量 无线晶圆间隙传感器 10-21mm  ±0.025mm（10~16mm）
Wireless Gap Sensor  ±0.075mm（16~21mm）
产品应用： 薄膜沉积
产品形态： 晶圆形状,12" or 8"
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