上海集迦电子科技有限公司

产品和解决方案

无线晶圆卡盘定位仪

GND 型号	产品型号	产品名称	量程	精度
WCS	WCS	无线晶圆卡盘定位仪	5-30mm	±0.05mm（5-15mm） (X&Y)
	WCS-S	无线晶圆喷淋头测量仪		±0.1mm（15-30mm） (X&Y)
产品应用：薄膜沉积, Etch, Track机台。用于晶圆Handoff定位和对中。
产品形态：晶圆形状,12" or 8"，可定制尺寸
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