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TC WAFER

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TC WAFER

项目 Parameters Values
TC WAFER 传感器点数 1-49点（可扩展定制）
衬底材料 2-12“硅片，蓝宝石，掩模版等
测温精度：  ± 1 °C （分辨率0.1℃）
测温范围： 0-1100℃(K型)
0-1250℃( R/S型)
TC温度采集器/分析仪 通道数（传感器数量） 1-49点（可扩展定制）
采样率 标准2Hz（最高50Hz可定制）
传感器种类 K, R, S（采集器可通用）
TC WAFER温度分析系统 GNDVIEW 

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