产品和解决方案

产品和解决方案

无线晶圆卡盘定位仪

当前位置：首页 > 产品和解决方案

无线晶圆卡盘定位仪

GND 型号 产品型号 产品名称 量程 精度
WCS WCS 无线晶圆卡盘定位仪 5-30mm ±0.05mm（5-15mm） (X&Y)
WCS-S 无线晶圆喷淋头测量仪 ±0.1mm（15-30mm） (X&Y)
产品应用： 薄膜沉积, Etch, Track机台。 用于晶圆Handoff定位和对中。
产品形态： 晶圆形状,12" or 8"，可定制尺寸
欢迎垂询上海集迦销售部，咨询产品详细资料。 感谢关注

上一个 返回顶部 下一个
在线留言 Copyright © DAHETIAN 上海集迦电子科技有限公司 All Rights Reserved. 沪ICP备2024070468号-1 网站地图
Top