上海集迦电子科技有限公司

产品和解决方案

无线晶圆温度传感器 Wireless Temperature Wafer

产品分类	产品型号	产品特性
Wireless Temperature Wafer 无线晶圆温度传感器	WTS300-etch.a1	12吋65点，刻蚀
	WTS200-etch.a1	8吋53点，刻蚀
	WTS300-SL.a1	12吋65点,低温刻蚀
	WTS300-litho.a1	12吋65点,光刻
Wireless Temperature Reticle 无线掩膜板温度传感器	WTR	6吋掩模版，点位可定制
产品应用：干法刻蚀，光刻，清洗设备
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